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光譜共焦傳感器兩種測(cè)量模式介紹
更新時(shí)間:2018-06-25   點(diǎn)擊次數(shù):1832次
光譜共焦傳感器兩種測(cè)量模式介紹

  光譜共焦傳感器外部掃描有一個(gè)重要的特性,實(shí)際上它是一個(gè)點(diǎn)傳感器,換句話說(shuō),在給定時(shí)刻傳感器測(cè)量的是一個(gè)位于其光軸上的單點(diǎn)。為了得到一個(gè)曲線,或者測(cè)量整個(gè)表面,必須用一些外部掃描設(shè)備做輔助,沿著一個(gè)軸或者兩個(gè)軸掃面樣品。一般情況掃描設(shè)備是機(jī)動(dòng)的;在一些情況下它還包含編碼器來(lái)確定任意時(shí)刻樣品的位置。在一些應(yīng)用中傳感器和外部掃描設(shè)備的同步性是一個(gè)重要的問(wèn)題。CCS-100可能同時(shí)作為“從”和“主”。

  光譜共焦傳感器同步傳感器通常需要同步傳感器與一個(gè)外加設(shè)備,比如一個(gè)編碼器,運(yùn)動(dòng)控制器或者一個(gè)能表明在傳送帶上運(yùn)動(dòng)物體路徑的光電管。當(dāng)與傳感器同步的外部設(shè)備是一個(gè)數(shù)字編碼時(shí),這個(gè)任務(wù)就很簡(jiǎn)單,因?yàn)樗怯蒀CS-100自動(dòng)進(jìn)行同步的。

  厚度模式是一個(gè)附加的測(cè)量模式,專門(mén)用來(lái)測(cè)量透明樣品的厚度。這種模式下傳感器同時(shí)測(cè)量透明樣品兩面的位置,然后通過(guò)兩個(gè)位置的不同計(jì)算出厚度。測(cè)量厚度比測(cè)量位移更難,度也下降。厚底測(cè)量也受一些限制。為了獲得在該模式下的計(jì)量性能,應(yīng)該執(zhí)行一個(gè)特殊的叫做“厚度校準(zhǔn)”的程序。厚度校準(zhǔn)是用戶來(lái)執(zhí)行的。這個(gè)過(guò)程需要一個(gè)厚度標(biāo)準(zhǔn)。
  測(cè)量數(shù)據(jù)
  在樣品的每一個(gè)點(diǎn)傳感器都要同時(shí)測(cè)量幾個(gè)數(shù)據(jù)。 在位移測(cè)量模式下測(cè)量數(shù)據(jù)有:
  √被測(cè)樣品點(diǎn)的距離
  √反回的散射光束的光強(qiáng)
  在厚度模式下測(cè)量數(shù)據(jù)有:
  √樣品個(gè)面的距離和光強(qiáng)
  √樣品第二面的距離和光強(qiáng)
  √厚度

  光譜共焦傳感器位移模式是專門(mén)用來(lái)測(cè)試樣品表面點(diǎn)的高度的。位移數(shù)據(jù)使用30比特的數(shù)字分辨率傳輸?shù)?。?dāng)測(cè)量一個(gè)不透明樣品(金屬,紙,陶瓷……)剖面高度時(shí),使用位移模式就很直觀簡(jiǎn)單。
  當(dāng)測(cè)量薄的透明樣品或者有涂層樣品時(shí),就會(huì)發(fā)生傳感器同時(shí)得到兩個(gè)信號(hào)的情況:涂層表面反射一個(gè)信號(hào),底層反射第二個(gè)信號(hào)。傳感器默認(rèn)選擇強(qiáng)的信號(hào)并且忽略其它收到的信號(hào),不管其譜峰的相對(duì)位置。在一些應(yīng)用中這種處理不是佳:在上面的例子中,底層材料的反射率一般比涂層的反射率強(qiáng),而我們可能需要測(cè)量的是涂層表面。主題會(huì)給出峰模式的在這種應(yīng)用中的解決方法。

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