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Article光譜共焦傳感器測(cè)量的精度微位移變化
更新時(shí)間：2017-10-23 點(diǎn)擊次數(shù)：2394次
光譜共焦傳感器測(cè)量的精度微位移變化
光譜共焦傳感器的工作原理，由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過高色散的物鏡發(fā)生光譜色散，此種物鏡對(duì)不同波長(zhǎng)的光的焦點(diǎn)，在一條軸線上形成一系列不同波長(zhǎng)的單色光，每一個(gè)波長(zhǎng)都對(duì)應(yīng)一個(gè)到被測(cè)物體的距離值。物體表面將照射光反射回來，通過共聚焦小孔過濾，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測(cè)到。通過計(jì)算被感測(cè)到的波長(zhǎng)，換算獲得距離值。軸向和水平方向的分辨率都可達(dá)到微米或者亞微米量級(jí)。
光譜共焦傳感器是基于一個(gè)創(chuàng)新的光學(xué)原理，利用空間的色散光譜，光譜共焦位移傳感器可以對(duì)幾乎任何材料進(jìn)行高精度的測(cè)量。
光譜共焦傳感器應(yīng)用
微位移、微形變高精度測(cè)量
超高線性度，可以作為傳感器的標(biāo)定使用。
通過長(zhǎng)度測(cè)量可以測(cè)量計(jì)算難以獲取的微小應(yīng)變。
純光學(xué)測(cè)頭，不會(huì)受到強(qiáng)磁干擾，無溫度散發(fā)，可以在真空中使用。
光譜共焦傳感器在線檢測(cè)
高測(cè)量速度和開放的接口，可以應(yīng)用于生產(chǎn)線相關(guān)的檢測(cè)或控制系統(tǒng)。
光譜共焦原理具有超高的耐表面性，高光潔表面也可以穩(wěn)定檢測(cè)。
側(cè)視測(cè)量，可以測(cè)量zui小直徑7mm的微孔側(cè)壁形貌。
光譜共焦傳感器測(cè)振計(jì)
高速的測(cè)量頻率和納米級(jí)的分辨率，可以應(yīng)用在物體的振動(dòng)測(cè)量。
光譜共焦傳感器厚度測(cè)量
的色散共焦成像原理可以測(cè)量透明材料的厚度，具有*的度。
另外，非常值得推薦的光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同，光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí)，僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光，從而得到層厚信息。
